В атомном силовом микроскопе вместо света регистрируется воздействие отдельных атомов и молекул на тончайшую иглу. Говоря об этом, Александр Сергеев упоминает ЕЕ. Одна из ЕЕ разновидностей снабжена датчиком, который в определенных ситуациях заставляет рукоятку вибрировать. Назовите ЕЕ.